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在半导体应用中,电气馈通至关重要。作为外部环境与半导体处理腔室内的真空或受控气氛之间的关键接口,电气馈通在以下几个方面发挥着重要作用。
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接地屏蔽是指同轴电缆的外导体(屏蔽层)通过某种方式直接或间接地与地面(大地)连接。
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Allectra 真空馈通Feedthrough连接器是一种用于在真空或高压环境下传输信号、电力或流体的连接器。